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J-GLOBAL ID：201302274589581781   整理番号：13A0081349

高機能ZnO透明導電膜のシート抵抗低減に向けた亜鉛-酸素混合プラズマの高密度化

Electron density enhancement of the zinc-oxygen mixture plasma for the advanced ZnO transparent conductive film with low sheet resistance

著者 (3件)： 佐藤直幸 (茨城大) ,  吉崎正洋 (茨城大) ,  池畑隆 (茨城大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-12  号： 85-90.92-95.98-106  ページ： 63-68  発行年： 2012年12月10日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 亜鉛-酸素混合の誘導結合プラズマ(ICP)によるイオンプレーティングを用いて,低いシート抵抗のZnO透明導電膜を製作した。永久磁石を用いてプラズマの高密度化を行い,シート抵抗を軽減することに成功した。ICPの制御によって原子状酸素が増加したことをプラズマ発光分光によって確認した。オーブン温度を最適に調整することにより可視透明で低抵抗の透明導電膜を得ることができた。

シソーラス用語： 誘導結合プラズマ ,  *イオンめっき ,  *プラズマCVD ,  *薄膜成長 ,  *透明導電膜 ,  シート抵抗 ,  プラズマ密度 ,  永久磁石 ,  磁場効果 ,  プラズマ分光 ,  導体材料 ,  *酸化亜鉛
準シソーラス用語： イオンプレーティング ,  原子状酸素 ,  高密度

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (14件)：

• (1)馬来国弼他:「透明導電膜の技術」オーム社(2007).
• (2)NIKKEI MICRODEVICES:「究極の太陽電池」,November(2009);Claes G.Granqvist:《Transparent conductors as solar energy materials:A panoramic review》,Solar Energy Materials & Solar Cells 91,pp.1529-1598(2007).
• (3)佐藤直幸:「首都圏北部4大学発新技術説明会」http://jstshingi.jp/abst/p/09/911/4u141.pdf(2009);吉田 善紀 他:「ICP合成によるZnO透明導電膜のプラズマパラメータ依存性」電気学会プラズマ研究会資料PST-10-123/PPT-10-143,pp.75-80(2010).
• (4) Y.Meng et al.,Thin Solid Films 394, pp.219-223 (2001);鯉田崇,藤原裕之,近藤道雄:「In₂O₃系高移動度透明導電膜」,表面科学29,No.1,pp.18-24(2008).
• (5) Tetsuya Hasegawa et al : "High Mobility 80cm²V^-1s^-1 in Polycrystalline Ta-Doped SnO₂Thin Films on Glass Using Anatase TiO₂ Seed Layers", Applied Physics Express 3 (2010) 031102.

タイトルに関連する用語 (7件)： ZnO ,  透明導電膜 ,  抵抗低減 ,  亜鉛 ,  酸素 ,  プラズマ ,  高密度化