文献
J-GLOBAL ID:201202136267897995
整理番号:12A1346593
PTFEの軟X線アブレーションによる低誘電率薄膜の作製と評価
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出版者サイト
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著者 (5件):
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資料名:
巻:
61st
号:
2
ページ:
751
発行年:
2000年09月03日
JST資料番号:
Y0055A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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