文献

J-GLOBAL ID：201202200900590748   整理番号：12A0023043

大型自立単結晶CVDダイヤモンド板の作製とその結晶性及び放射線応答

著者 (8件)： 坪内信輝 (産総研 ダイヤモンド研究ラボ) ,  杢野由明 (産総研 ダイヤモンド研究ラボ) ,  垣本明憲 (北大 工) ,  藤田文行 (北大 工) ,  金子純一 (北大 工) ,  山田英明 (産総研 ダイヤモンド研究ラボ) ,  茶谷原昭義 (産総研 ダイヤモンド研究ラボ) ,  鹿田真一 (産総研 ダイヤモンド研究ラボ)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 25th  ページ： 66-67  発行年： 2011年12月07日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *厚膜 ,  *単結晶 ,  板 ,  *半導体放射線検出器 ,  種結晶 ,  表面構造 ,  α粒子ビーム ,  *結晶度 ,  *放射線感受性 ,  光透過 ,  成長速度 ,  アルカン ,  *ダイヤモンド膜 ,  結晶成長速度 ,  自立膜 ,  *マイクロ波プラズマCVD ,  構造
準シソーラス用語： *マイクロ波プラズマ化学蒸着 ,  リフトオフ法 ,  捕集効率

分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (8件)： 大型 ,  自立 ,  単結晶 ,  CVDダイヤモンド ,  作製 ,  結晶性 ,  放射線 ,  応答