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J-GLOBAL ID：201202204040230760   整理番号：12A1437106

MEMS応用のためのチタンDRIE技術の開発

著者 (6件)： 山田悠貴 (新潟大 工) ,  田村卓也 (新潟大 工) ,  浅地豊久 (立山マシン) ,  人母岳 (立山マシン) ,  鍋澤浩文 (富山県工技) ,  安部隆 (新潟大 工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 73rd  ページ： ROMBUNNO.12A-E1-12  発行年： 2012年08月27日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MEMS ,  *RIE【エッチング】 ,  フッ化硫黄 ,  ニッケル ,  チタン ,  プラズマ加工 ,  加工速度 ,  圧力効果 ,  エッチングマスク ,  六フッ化硫黄
準シソーラス用語： *DRIE【エッチング】 ,  エッチング速度 ,  マグネトロンプラズマ ,  圧力依存性

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  応用 ,  チタン ,  DRIE ,  開発