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J-GLOBAL ID：201202204621306946   整理番号：12A0924292

γ-Al₂O₃/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの作製と送受信特性

Fabrication and transmit-receive characteristics of ultrasonic transducers array using epitaxial PZT thin films on γ-Al₂O₃/Si substrates

著者 (9件)： 尾崎勝弥 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系) ,  西村将人 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系) ,  鈴木啓佑 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系) ,  沼田泰幸 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系) ,  岡田長也 (本多電子) ,  赤井大輔 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系) ,  赤井大輔 (豊橋技科大 エレクトロニクス先端融合研) ,  石田誠 (豊橋技科大 電気・電子情報工学系) ,  石田誠 (豊橋技科大 エレクトロニクス先端融合研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 112  号： 34(SDM2012 19-42)  ページ： 29-33  発行年： 2012年05月10日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,エピタキシャルPZT/SrRuO₃/Pt/γ-Al₂O₃/Si構造を用いた8×8chの2D pMUTsアレイを作製し,超音波の受信実験および送信実験を行った。受信信号のばらつきの平均化と送信音圧の向上のため1chは42個の振動子とし,医療診断装置で一般的に用いられるMHz帯を念頭に1素子の直径は100μmで作製した。作製したデバイスにおいて超音波の伝搬速度の違いを使用した文字のイメージングに成功した。また,1.2MHzでの超音波の送信に成功した。これらの結果から,送受信可能な超音波トランスデューサアレイの実現が期待できる。(著者抄録)

シソーラス用語： *超音波変換器 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  超音波診断 ,  酸化アルミニウム ,  エピタクシー
準シソーラス用語： *超音波トランスデューサアレイ

分類 (1件)： 音響測定  (BB03040R)

タイトルに関連する用語 (9件)： γ-AL2O3 ,  Si基板 ,  エピタキシャル ,  PZT ,  薄膜 ,  超音波トランスデューサアレイ ,  作製 ,  送 ,  受信特性