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J-GLOBAL ID：201202209667003524   整理番号：12A0795496

標識を使わないセンシングを行うBragg格子空気スロット光導波路

Bragg-grating Air-slot Optical Waveguide For Label-Free Sensing

著者 (4件)： JUGESSUR A. S. (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  YAGNYUKOVA M. (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  DOU J. (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  AITCHISON J. S. (Univ. Toronto, Ontario, CAN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8231  ページ： 82310N.1-82310N.4  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Bragg格子空気スロット光導波路をFDTD法を使って設計し,電子ビームリソグラフィーと反応イオンエッチングにより,シリコンオンインシュレータ上に作製して,標識を使わないセンサを開発した。Bragg格子は140nm幅の空気スロット導波路にあるリセス構造でできている。この格子構造は特定の周波数でバンドギャップを発生し,下側のバンド端を空気スロット中の流体や生物分子を検出する機構として使う。3次元FDTDと実験結果から,このセンサの感度を620nm/RIUと評価した。空気スロット中の電場強度が高くなるため,この領域が空気スロット中の流体や生物分子の屈折率変動に敏感となる。

シソーラス用語： 回折格子 ,  光導波路 ,  *光センサ ,  有限差分時間領域法 ,  電子ビームリソグラフィー ,  RIE【エッチング】 ,  素子構造 ,  バンドギャップ ,  屈折率 ,  スロット導波管 ,  バイオセンサ ,  フォトニック結晶
準シソーラス用語： *Bragg回折格子 ,  FDTD ,  リセス構造 ,  *スロット導波路

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 標識 ,  センシング ,  Bragg格子 ,  スロット ,  光導波路