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J-GLOBAL ID：201202211045116512   整理番号：12A1486843

微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究-装置の設計と基本特性の評価-

著者 (3件)： 伊東聡 (東北大) ,  小玉一成 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.N44  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細形状計測のための新規なプローブについて提案する。本研究では,中空の毛細ガラス管を熱引き加工により先鋭化したナノピペットを使用する。先鋭化されたナノピペットの先端部分に微小球を取り付けることでプローブとして用いられる。本報では,ナノピペットプローブ先端と測定対象物間の距離をナノメートルオーダーの分解能で検出可能なセンサを開発し,ナノピペットプローブの感度特性について評価した結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *形状測定 ,  実験用器具 ,  計測器 ,  計測
準シソーラス用語： *マイクロピペット ,  *ナノ計測

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微小球 ,  形状計測 ,  研究 ,  設計 ,  評価