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J-GLOBAL ID：201202213777321537   整理番号：12A0597847

位相変調電気光学素子を用いた光干渉計と光学式エンコーダの補間法

著者 (3件)： 倉島貴大 (長岡技科大 大学院) ,  上杉修平 (長岡技科大 大学院) ,  明田川正人 (長岡技科大 工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M16  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光干渉計や光学式エンコーダでは波長あるいは回折格子ピッチ以下の変位を決定する補間プロセスに誤差が混入するという欠点がある。本研究では電気光学素子による位相変調を干渉縞信号に加え,同期検波を用いて原理的に誤差のない補間法を光干渉計,光学式エンコーダに適用した。同期検波の複調からそれぞれ90°異なる2個の正弦波を得,方向弁別と位相補間を可能にする。(著者抄録)

シソーラス用語： *干渉計 ,  *符号器 ,  *内挿法 ,  光学素子 ,  位相変調
準シソーラス用語： *光干渉計 ,  *光学式エンコーダ ,  電気光学素子

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位相変調 ,  電気光学素子 ,  光干渉計 ,  光学式エンコーダ ,  補間法