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J-GLOBAL ID:201202215271160007   整理番号:12A0255194

フレキシブル電子素子製造用の有機半導体とプラズマ相互作用の調査

Investigation of plasma interactions with organic semiconductors for fabrication of flexible electronics devices
著者 (12件):
資料名:
巻: 33rd  ページ: 69-70  発行年: 2011年 
JST資料番号: Y0378B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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固体デバイス材料  ,  プラズマ応用 
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