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J-GLOBAL ID：201202216250917643   整理番号：12A0539868

1インチサイズの単結晶ダイヤモンドのタイルクローンの作製と基本的な特性評価

Fabrication and fundamental characterizations of tiled clones of single-crystal diamond with 1-inch size

著者 (6件)： YAMADA Hideaki ,  CHAYAHARA Akiyoshi ,  UMEZAWA Hitoshi ,  TSUBOUCHI Nobuteru ,  MOKUNO Yoshiaki ,  SHIKATA Shinichi
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 24  ページ： 29-33  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しいタイプのモザイクウェハー”タイルクローン”を作製する技術を開発した。この技術は同一シード基板に由来する”クローン化”基板を使用する。4枚から8枚の10mm×10mm,厚さ1mmのクローン基板を結合して20mm×20mm~20mm×40mmの面積の大きなウェハーとした。これらのクローン基板は比較的スムーズに接合でき,異常粒成長は抑えられ,構成クローン間の境界はほぼ視認できない。これらの断面観察に加えて,Raman分光とX線回折を各タイルクローンについて測定した。境界から離れた領域のX線ロッキング曲線FWHMは約10~50arcsecであった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *単結晶 ,  モザイク構造 ,  ウエハ【IC】 ,  基板 ,  *結晶成長 ,  *イオンビーム ,  *イオン注入 ,  微細加工 ,  ロッキングカーブ ,  FWHM
準シソーラス用語： *タイルクローン ,  *リフトオフ法 ,  ロッキング曲線 ,  単結晶ダイアモンド

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (7件)： インチ ,  サイズ ,  単結晶ダイヤモンド ,  タイル ,  クローン ,  作製 ,  特性評価