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J-GLOBAL ID：201202217459207160   整理番号：12A1758662

FIBによるその場電顕観察用試料の作製と材料科学への応用-FIBとガラスマニピュレータによるTEM試料作製-

著者 (2件)： 鈴木俊明 (日本電子) ,  高橋可昌 (関西大 システム理工)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 51  号： 12  ページ： 545-551  発行年： 2012年12月01日 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム装置(FIB)とガラスマニピュレータとの組合せによる透過型電子顕微鏡(TEM)用その場観察用試料作製法の紹介した。FIBとその周辺技術を駆使して行ったその場電子顕微鏡観察の実例を,特に試料作製の立場から紹介した。いずれもFIBを活用して初めて実現にこぎ着けたTEMの実験と言える。なおFIBと併用するマニピュレータにも複数の方式が存在するが,特に光学顕微鏡に付属したガラスマニピュレータを活用する事例を紹介した。FIBは細く絞ったイオンビームを試料の任意の位置に照射できる装置であり,各種の微細加工に幅広く利用されている。これにより材料試験がサブミクロンスケールで実施可能となり,特殊な試料を必要とする各種のその場観察実験(応力や電圧の印加など)をTEMの中で実施できるようになってきた。バルクピックアップ法を拡張して動的観察用試料の作製を行った材料強度と電場誘起組織変化解析のための試料作製の2例(銅と窒化ケイ素膜のカンチレバー,La_0.5Sr_1.5MnO₄)を紹介した。

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  *透過型電子顕微鏡 ,  その場観察 ,  圧子 ,  スイッチング ,  材料科学 ,  *試料調製 ,  ガラス ,  光学顕微鏡 ,  操作機器 ,  マニピュレータ ,  電場 ,  微細加工 ,  材料試験 ,  強度 ,  銅 ,  窒化ケイ素 ,  ランタン化合物 ,  ストロンチウム化合物 ,  マンガン酸塩 ,  片持梁 ,  材料強度 ,  マンガン酸ランタンストロンチウム ,  ロボット
準シソーラス用語： ドメインスイッチング

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (20件)：

• (1) E. Okunishi, H. Sawada and Y. Kondo: Micron, 43(2012), 538-544.
• (2) 杉山昌章,柴田昌照:日本電子ニュース,43(2011), 7-12.
• (3) T. Suzuki, N. Endo, M. Shibata, S. Kamasaki and T. Ichinokawa: J. Vac. Sci. Technol., A22(1), Jan/Feb(2004), 49(4pages).
• (4) 鈴木俊明:日本電子ニュース,40(2008), 52-53.
• (5) 鈴木俊明,遠藤徳明,奥西栄治,久芳聡子:日本電子ニュース,35(2003), 20-23.

タイトルに関連する用語 (10件)： FIB ,  電顕観察 ,  試料 ,  作製 ,  材料科学 ,  応用 ,  ガラス ,  マニピュレータ ,  TEM ,  試料作製