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J-GLOBAL ID：201202218965782411   整理番号：12A1438081

太陽電池用シリコンウェーハの欠陥消滅型洗浄:表面汚染金属除去と少数キャリアライフタイムの増加

著者 (4件)： 高橋昌男 (大阪大 産科研) ,  喜村勝矢 (大阪大 産科研) ,  柳生真依 (大阪大 産科研) ,  小林光 (大阪大 産科研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 73rd  ページ： ROMBUNNO.11A-F8-11  発行年： 2012年08月27日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *ウエハ【IC】 ,  *欠陥 ,  *洗浄 ,  *少数キャリア ,  *寿命
準シソーラス用語： *シリコンウエハ

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  半導体と絶縁体の電気伝導一般  (BM03041P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 太陽電池 ,  シリコンウェーハ ,  欠陥 ,  洗浄 ,  表面汚染 ,  金属除去 ,  少数キャリア ,  タイム