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J-GLOBAL ID：201202220452459903   整理番号：12A0853575

ディジタル画像相関処理を使った化学機械研磨パッドコンディショナーの性能評価法

Performance Evaluation Method of Chemical Mechanical Polishing Pad Conditioner Using Digital Image Correlation Processing

著者 (8件)： UNEDA Michio (Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN) ,  UNEDA Michio (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  OMOTE Tatsunori (Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN) ,  ISHIKAWA Ken-ichi (Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN) ,  ICHIKAWA Koichiro (Fujikoshi Machinery Corp., Nagano, JPN) ,  DOI Toshiro (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  KUROKAWA Syuhei (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  OHNISHI Osamu (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 5,Issue 2  ページ： 05EF02.1-05EF02.2  発行年： 2012年05月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学機械研磨(CMP)では,パッド表面の組織を再生するため,一般にココンディショニングが用いられる。現在,コンディショナーの性能評価はユーザの経験に依存するため,コンディショナー性能に対する新しい定量的な評価法を開発することが重要である。本論文では,ディジタル画像相関(DIC)処理を使ったコンディショナー性能の新しい評価法を提案した。この処理法は,ココンディショニングによりパッド表面組織の面内ミクロ変形分布を測定できる。ココンディショニングによってパッド表面は40μmにわたって変形し,ココンディショナー粒子のメッシュサイズが小さくなると,面内変形値が大きくなることを見いだした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *化学研磨 ,  相関 ,  再生 ,  切削工具 ,  *化学機械研磨
準シソーラス用語： *ディジタル画像相関 ,  *コンディショナー ,  組織再生 ,  *研磨パッド

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (7件)：

• 1) International Technology Roadmap for Semiconductors 2010 edition.
• 2) L. C. Zhang et al.: Int. J. Mech. Sci. 52 (2010) 657.
• 3) J. C. Yang et al.: Int. J. Mach. Tools Manuf. 50 (2010) 860.
• 4) M. Uneda et al.: Proc. Int Conf. Planarization/CMP Technology, 2010, p. 360.
• 5) K. Ogata et al.: Proc. Int. Conf. Planarization/CMP Technology, 2011, p.360.

タイトルに関連する用語 (5件)： ディジタル画像相関 ,  化学機械研磨 ,  パッド ,  コンディショナー ,  性能評価