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J-GLOBAL ID：201202221728678007   整理番号：12A1652813

1次元中性子焦点合わせのための四重スタック楕円形スーパーミラーデバイス

Quadruple stacked elliptical supermirror device for one dimensional neutron focusing

著者 (6件)： NAGANO M. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAGA F. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMAZAKI D. (Japan Atomic Energy, Agency, Tokai, JPN) ,  MARUYAMA R. (Japan Atomic Energy, Agency, Tokai, JPN) ,  SOYAMA K. (Japan Atomic Energy, Agency, Tokai, JPN) ,  YAMAMURA K. (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 523/524  ページ： 272-275  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 合成クオーツガラスで150×75×1mmの楕円ミラー基板を作製し,その形状誤差と本ミラーを用いたスタッキング機器のアラインメント精度を評価し報告した。本ミラーは数値制御を用いた湿式局所エッチング法,1psi以下の低圧研磨,及びイオンビームスパッタリング蒸着法より成る製法で開発した。本スーパーミラーデバイスの精度はサブミクロン以下で,表面粗さはナノメータ以下であった。四つの薄型ミラーをそれぞれ3点支持で支えるアラインメント用デバイスは,アラインメントの公差計算値を満足させるもので,精度のいい中性子ビームの焦点合わせを可能ならしめた。

シソーラス用語： 反射鏡 ,  *光学器械 ,  焦点合せ ,  *中性子 ,  エッチング ,  楕円 ,  低圧 ,  研磨
準シソーラス用語： *スーパーミラー

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 1次元 ,  中性子 ,  焦点合わせ ,  スタック ,  楕円形 ,  スーパーミラー