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J-GLOBAL ID：201202222083369540   整理番号：12A1711920

集束イオンビーム化学蒸着を用いて作製したナノメカニカル音叉

Nanomechanical tuning forks fabricated using focused-ion-beam chemical vapor deposition

著者 (4件)： ASHIBA Hiroki (Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan and The Japan Soc. ...) ,  KOMETANI Reo (Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN) ,  WARISAWA Shin’ichi (Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN) ,  ISHIHARA Sunao (Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, Hongo 7-3-1, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30  号： 6  ページ： 06FD03-06FD03-5  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノメカニカル音叉の理論的及び実験的研究は,それらが高品質因子(Q因子)の機械共振器であることを示した。共振周波数の理論的計算では,音叉のアームを,1個あるいはそれ以上の捻りばねに結合しているビームによりモデル化した。3.6~6.9μmのアーム長をもつ音叉を,集束イオンビーム化学蒸着を用いて作製し,それらの共振周波数及びQ因子を,光学装置により測定した。音叉の二つの基本モード(同位相及び逆位相)における振動に関して計算した共振周波数は,測定と良く一致した。中間真空(10Pa)下で測定したとき,逆位相における音叉振動に関するQ因子は,同位相で振動するナノメカニカルカンチレバー及び音叉に関するそれらの2倍ほどであった。対照的に,大気圧下において,同位相モードで振動する音叉に関するQ因子は,同一共振周波数の逆位相モードで振動するカンチレバー及び音叉のそれらより高かった。同位相モードにおける高いQ因子は,ナノメカニカル共振器と周囲空気との間の強い相互作用によるものであった。結果は,空気中で動作するナノメカニカル共振器が,その成分が同位相で振動するならば,高いQ因子をもつことができることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *音叉 ,  微小共振器 ,  化学蒸着 ,  集束イオンビーム ,  *共振周波数 ,  モデリング ,  トーションバー ,  Q値 ,  振動
準シソーラス用語： Q因子 ,  *ナノメカニカル共振器 ,  ねじりばね ,  逆位相

分類 (2件)： 振動の励起・発生・測定  (BB02030Z) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集束イオンビーム化学蒸着 ,  作製 ,  音叉