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J-GLOBAL ID：201202223756541214   整理番号：12A0248640

ナノメートル表面構造の探査用のピコ秒軟X線レーザ干渉計

Picosecond Soft-X-ray Laser Interferometer for Probing Nanometer Surface Structure

著者 (12件)： OCHI Yoshihiro (Japan Atomic Energy Agency, Kyoto, JPN) ,  TERAKAWA Kota (Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  HASEGAWA Noboru (Japan Atomic Energy Agency, Kyoto, JPN) ,  YAMAMOTO Minoru (Japan Atomic Energy Agency, Kyoto, JPN) ,  YAMAMOTO Minoru (Univ. Tokushima, Tokushima, JPN) ,  TOMITA Takuro (Univ. Tokushima, Tokushima, JPN) ,  KAWACHI Tetsuya (Japan Atomic Energy Agency, Kyoto, JPN) ,  MINAMI Yasuo (Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  NISHIKINO Masaharu (Japan Atomic Energy Agency, Kyoto, JPN) ,  IMAZONO Takashi (Japan Atomic Energy Agency, Kyoto, JPN) ,  ISHINO Masahiko (Japan Atomic Energy Agency, Kyoto, JPN) ,  SUEMOTO Tohru (Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 1,Issue 1  ページ： 016601.1-016601.3  発行年： 2012年01月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二重Lloyd鏡に基づく軟X線レーザ干渉計を構築し,波長13.9nmでの7ps時間パルスを用いて,1ショット干渉図を得た。そこから,深さが5nmのマイクロメートルの溝を再構成することに成功した。側面,及び,深さ分解能はそれぞれ,1.5μmと1nmよりも良好であると推定された。この干渉計は,固体表面上で過度的変化するナノメートルスケールのズレを観察するための有望な診断装置となるであろう。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 軟X線 ,  *干渉計 ,  表面構造 ,  *ナノ構造 ,  ピコ秒 ,  *パルスレーザ ,  溝 ,  *画像再構成 ,  分解能
準シソーラス用語： *ピコ秒パルスレーザ ,  *軟X線レーザ干渉計 ,  深さ分解能

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

引用文献 (12件)：

• 1) Y. Izawa, Y. Setsuhara, M. Hashida, M. Fujita, and Y. Izawa: Jpn. J.Appl. Phys. 45 (2006) 5791.
• 2) Y. Izawa, Y. Izawa, Y. Setsuhara, M. Hashida, M. Fujita, R. Sasaki, H. Nagai, and M. Yoshida:Appl. Phys. Lett. 90 (2007) 044107.
• 3) J. Schwider, R. Burow, K. E. Elssner, J. Grzanna, R. Spolaczyk, and K. Merkel:Appl. Opt. 22 (1983) 3421.
• 4) V. V. Temonov,K. Sokolowski-Tinten, P. Zhou, and D. Von der Linde: Appl. Phys. A 78 (2004) 483.
• 5) F. Albert, D. Joyeux, P.Jaeglé, A. Carillon, J. P. Chauvineau, G. Jamelot, Opt. Commun. 142 (1997) 184.

タイトルに関連する用語 (5件)： 表面構造 ,  探査 ,  ピコ秒 ,  軟X線レーザ ,  干渉計