WANG Nan について
Tohoku Univ. Sendai について
YOSHIDA Shinya について
Tohoku Univ. Sendai について
KUMANO Masafumi について
Tohoku Univ. Sendai について
KAWAI Yusuke について
Tohoku Univ. Sendai について
TANAKA Shuji について
Tohoku Univ. Sendai について
ESASHI Masayoshi について
Tohoku Univ. Sendai について
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) について
圧電素子 について
積層構造 について
マイクロアクチュエータ について
ゾル-ゲル法 について
アスペクト比 について
ジルコニウム酸チタン酸鉛 について
化学蒸着 について
酸化アルミニウム について
MEMS について
MEMSデバイス について
PZT【鉛化合物】 について
バイモルフ について
圧電アクチュエータ について
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高アスペクト比 について
固体デバイス製造技術一般 について
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ゾルゲル法 について
高アスペクト比 について
PZT について
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圧電バイモルフ について
マイクロアクチュエータ について