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J-GLOBAL ID：201202233833239270   整理番号：12A0654920

SPMのフロンティア~多様な材料系の研究ニーズに対応するSPM物性計測の最先端~大気中・液中で動作する高分解能FM-AFMの開発

著者 (2件)： 粉川良平 (島津製作所) ,  大田昌弘 (島津製作所)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 47  号： 1  ページ： 22-25  発行年： 2012年03月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 走査型トンネル顕微鏡(STM)と原子間力顕微鏡(AFM)に代表されるプローブ顕微鏡(SPM)は,光学顕微鏡,電子顕微鏡に比肩する応用の拡がりが期待される高分解能観察手法である。なかでもAFMは絶縁材料でも導電性コーティングを施すことなくそのまま観察可能であるため,有機分子材料などの観察に有望であるという特徴を持つが,空間分解能ではSTMに及ばないとされてきた。しかし,近年,周波数変調AFM(AM-AFM)により,超高真空中では原子・分子レベルの分解能での構造観察が可能となった。筆者らは,大気中・液中などの環境下で動作し,金属,半導体,絶縁体,有機材料などあらゆる材料に対して原子・分子スケールでの構造・機能物性評価を可能とするFM-AFMを開発した。本開発成果の高分解能FM-AFMは,ナノテクノロジー関連の広範な研究分野において有効な装置となると考える。

シソーラス用語： 走査型トンネル顕微鏡 ,  *原子間力顕微鏡 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  大気中 ,  位置 ,  高分解能 ,  有機材料 ,  ナノテクノロジー
準シソーラス用語： 液中 ,  *周波数変調AFM

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (10件)：

• 1)Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, Ch. and Weibel, E.: Phys. Rev. Lett., 49, 57-61 (1982)
• 2)Binnig, G., Quate, C.F. and Gerber, Ch.: Phys. Rev. Lett., 56, 930-933 (1986)
• 3)Albrecht, T.R., Grutter, P., Horne, D. and Rugar, D.: J. Appl. Phys., 69, 668-673 (1991)
• 4)Morita, S., Wiesendanger, R. and Meyer, E. (Eds.): “Noncontact Atomic Force Microscopy” NanoScience and Technology Series, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York (2002)
• 5)山田啓文:表面科学,29,221-228(2008)

タイトルに関連する用語 (11件)： SPM ,  研究 ,  ニーズ ,  物性 ,  計測 ,  最先端 ,  大気中 ,  液中 ,  高分解能 ,  FM-AFM ,  開発