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J-GLOBAL ID：201202234826270860   整理番号：12A1486798

大気開放型プラズマCVMにおける加工速度フィードバック制御機構の開発(第3報)-アクチノメトリー法を用いた反応種密度計測における誤差要因の検討-

著者 (4件)： 畑祐輝 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  竹田善紀 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  押鐘寧 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M18  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気開放型プラズマCVM法において,加工精度を向上させるためには,バッチ間およびバッチ内における加工速度の一定化が必要である。本研究では,アクチノメトリー法を用いてプラズマ中の反応種密度を測定したところ,加工速度と正の相関が存在し,フィードバック制御機構の開発に適用できる可能性が示唆された。また,加工量および反応種密度の算出において生じる誤差の要因を検討し,測定精度の向上を図った。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *加工速度 ,  *フィードバック制御 ,  光量計 ,  計測
準シソーラス用語： アクチノメータ ,  密度計測

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大気 ,  開放型 ,  プラズマCVM ,  加工速度 ,  フィードバック制御 ,  開発 ,  計測 ,  誤差要因