LIU Shijie について
Fraunhofer Inst. for Integrated Systems and Device Technol. (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, DEU について
ROEDER Georg について
Fraunhofer Inst. for Integrated Systems and Device Technol. (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, DEU について
AYGUN Gulnur について
Physics Dep., Izmir Inst. of Technol., 35430, Urla, Izmir, TUR について
MOTZEK Kristian について
Fraunhofer Inst. for Integrated Systems and Device Technol. (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, DEU について
EVANSCHITZKY Peter について
Fraunhofer Inst. for Integrated Systems and Device Technol. (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, DEU について
ERDMANN Andreas について
Fraunhofer Inst. for Integrated Systems and Device Technol. (IISB), Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, DEU について
Optik について
フォトリソグラフィー について
真空紫外線 について
モデル について
三次元 について
傾斜 について
回転 について
シミュレーション について
ナノ構造 について
検針 について
感光材料 について
化学増幅レジスト について
微細構造 について
MEMS について
露光 について
ドラッグデリバリーシステム について
三次元モデル について
3Dモデル について
EUVリソグラフィー について
SU-8 について
ネガティブレジスト について
薬物デリバリーシステム について
固体デバイス製造技術一般 について
その他の光デバイス について
3D について
リソグラフィー について
シミュレーション について
針 について
応用 について