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J-GLOBAL ID：201202236199734963   整理番号：12A0320369

形状記憶合金薄膜を活用した高速マイクロアクチュエータの特徴描写

Characterization of High-Speed Microactuator Utilizing Shape Memory Alloy Thin Films

著者 (4件)： TOMOZAWA M. (Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN) ,  OKUTSU K. (Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN) ,  KIM H. Y. (Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN) ,  MIYAZAKI S. (Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 475/479  号： Pt.3  ページ： 2037-2042  発行年： 2005年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 形状記憶 ,  合金薄膜 ,  活用 ,  マイクロアクチュエータ