抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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内径1mm以下の微細穴を主対象とする直接的非破壊検査は,大きく3つのタイプに分けられる。プローブタイプは,小さなプローブを挿入する方法で,接触式プローブを使う場合が多く,検出器挿入タイプは,非接触光センサを使うことが多い。光線タイプは,外部から光線を照射し,小穴内面を測定する。プローブタイプは,マイクロCMM(Coordinate Measuring Machine)とナノCMMタイプの測定機の開発,商用化が行われている。IBS社のマイクロCMMのISRA400は,400mmまでの測定対象に対しプローブは3次元的接触が検出可能で,分解能3nm,測定不確かさ20nmの測定が可能である。ミツトヨM-NanoCordの超音波微細プローブは,直径30μmのスタイラスで,繰り返し精度70nmの測定が可能である。Werth社の3次元測定機のファイバプローブWFPは,先端を径12.5μmの球状光ファイバを光らせカメラ観察し,精度1.5μmで測定できる。放電加工を利用すると複雑で微細なプローブの加工ができる。光トラップを使ったプローブでは,直径8μmのガラス球をレーザーでトラップし測定対象に近づけ測定する。検出器挿入タイプの例では,光センサを持つ検出器で,内径30mm以上の穴が対象であるが,長さ数mの深穴が測定できる。先端を45度に研磨した光ファイバを検出器とする内径測定システムは,検出器本体を外部に置け,小型化できる。光線タイプの例では,光ファイバを光源とし,小穴内面を照射し,反射光をCCDカメラで検出する。内径125μmのフェルールの内面測定を精度0.1μm程度で可能である。X線CTの寸法などの計測可能システムとしてメトロロジーCTが市販されている。Zeiss社X線CT装置は,データを従来の3次元測定機と同様のソフトウェアで計算可能なシステムで,マイクロメートルオーダーの小穴内径や内面の断面写真と形状が測定可能である。
