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J-GLOBAL ID：201202240136913954   整理番号：12A0962805

スパッタリングで蒸着した304ステンレス鋼+10重量%Al被膜の構造の調査

Structural Characterization of Sputter-Deposited 304 Stainless Steel+10 wt pct Al Coatings

著者 (6件)： SEELAM Uma Maheswara Rao (Univ. of Central Florida, Dep. of Mechanical Materials and Aerospace Engineering, 32816-2450, Orlando, FL, USA) ,  SURYANARAYANA C. (Univ. of Central Florida, Dep. of Mechanical Materials and Aerospace Engineering, 32816-2450, Orlando, FL, USA) ,  HEINRICH Helge (Univ. of Central Florida, Dep. of Physics, 32816-2450, Orlando, FL, USA) ,  OHKUBO Tadakatsu (Nanostructure Analysis Group, National Inst. for Materials Sci., 1-2-1 Sengen, 305-0047, Tsukuba, JPN) ,  HONO Kazuhiro (Nanostructure Analysis Group, National Inst. for Materials Sci., 1-2-1 Sengen, 305-0047, Tsukuba, JPN) ,  CHERUVU N. S. (Southwest Res. Inst., 78228-0510, San Antonio, TX, USA)
資料名： Metallurgical and Materials Transactions. A. Physical Metallurgy and Materials Science  (Metallurgical and Materials Transactions. A. Physical Metallurgy and Materials Science)
巻： 43  号： 8  ページ： 2945-2954  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： E0265B  ISSN： 1073-5623  CODEN： MTTABN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 組成(重量%)がFe-18Cr-8Niの304型ステンレス鋼の素地上に,組成が重量%でFe-18Cr-8Ni-10Al%であり,原子%ではFe-17Cr-6Ni-17AlであるSS304+10%Al被膜を,304型オーステナイト系ステンレス鋼(SS304)とAlの2種類のターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法によって形成させた。蒸着膜をX線回折,透過型電子顕微鏡,三次元(3-D)アトムプローブ法によって調査した。被膜は,体心立方(bcc)の(A2)構造のαフェライトの柱状晶とB2構造の析出物とから成る。被膜はまた,FeとCrが濃化した層とAlとNiが濃化した層との波長が3.2nmである2種類の層が交互に重なる蒸着誘起の層状構造を持つ。AlとNiが濃化した層はB2構造を持つ。被膜中にB2構造が存在することを,電子線回折と3-Dアトムプローブ法によって直接的に明らかにした。Copyright 2012 The Minerals, Metals & Materials Society and ASM International Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,  *オーステナイト系ステンレス鋼 ,  アルミニウム添加合金 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *蒸着膜 ,  BCC金属 ,  α相 ,  フェライト組織 ,  柱状晶 ,  層状組織 ,  B2型金属間化合物 ,  *金属組織
準シソーラス用語： *AISI304

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  金属の結晶構造  (BK06000V)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタリング ,  蒸着 ,  304ステンレス鋼 ,  被膜 ,  調査