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J-GLOBAL ID：201202241294880636   整理番号：12A1644603

皮膜の特性評価試験 FIBによる低融点金属の断面加工事例

著者 (2件)： 鈴木俊明 (日本電子) ,  松島英輝 (日本電子)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 63  号： 11  ページ： 685-688  発行年： 2012年11月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子・電気デバイスの製造に欠かすことのできないはんだ付けをより理解するためにはナノスケールでの解析が必要となってくる。このようなナノスケールでの解析には電子顕微鏡が有効な手段であるが,その試験片の作製においては対象となるはんだの低融点性が課題となり,加工によって試験片が真の姿を示しているか疑問が投げかけられる。本稿では,この課題に対して集束イオンビーム(FIB)の適用の有効性を事例を用いて記した。FIB装置の概要について述べた後,低融点金属の冷却加工(装置,鉛はんだの室温加工および冷却加工の比較およびその他の低融点金属加工例)について示した。

シソーラス用語： *低融点金属 ,  はんだ ,  *集束イオンビーム ,  顕微鏡観察 ,  加工 ,  試験片
準シソーラス用語： 低温加工

分類 (1件)： 金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (5件)：

• 1)K. Nikawa ; J. Vac. Sci. Technol., B9, 2556(1991).
• 2)鈴木俊明 ; 日本電子ニュース, 40, 52(2008).
• 3)裏 克己 ; ナノ電子光学, p.202(共立出版, 2005).
• 4)鈴木俊明, 遠藤徳明, 柴田昌照, 釜崎清治, 市ノ川竹男 ; 真空, 46, 87(2003).
• 5)鈴木俊明, 遠藤徳明, 柴田昌照, 釜崎清治, 市ノ川竹男 ; 表面技術, 53, 839(2002).

タイトルに関連する用語 (6件)： 皮膜 ,  特性評価 ,  試験 ,  FIB ,  低融点金属 ,  加工事例