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J-GLOBAL ID：201202243488860507   整理番号：12A1727247

反応性イオンエッチング処理した珪素上の銀ナノ粒子の独特の固相-固相変態

A unique solid-solid transformation of silver nanoparticles on reactive ion-etching-processed silicon

著者 (2件)： LEE Seung Yong (Univ. Maryland, MD, USA) ,  RABIN Oded (Univ. Maryland, MD, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 6  ページ： 065301,1-9  発行年： 2012年02月17日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 銀ナノ粒子とパターン形成した珪素ウエハの反応機構を調べ,パターン形成基板の垂直側面上に銀ナノ粒子,金ナノ粒子,珪素ナノワイヤを選択成長させるこの工程の有用性を実証した。反応性イオンエッチした基板と銀ナノ粒子の混合はナノ粒子の形状と金属堆積を劇的に変化させた。この変化は金属ナノ粒子に独特で,粒子の種類,界面活性剤,Siウエハ上の反応部位の分布を制御して変調できる。ファセットした銀,球形及び繊維状の銀が得られた。この工程は音響素子や電子素子の簡単な製造法として利用できる。

シソーラス用語： *RIE【エッチング】 ,  ウエハ【IC】 ,  *ナノ粒子 ,  ナノワイヤ ,  結晶成長 ,  電子顕微鏡観察 ,  パターン形成 ,  電子ビームリソグラフィー ,  *相変態
準シソーラス用語： ケイ素ウエハ ,  金ナノ粒子 ,  銀ナノ粒子 ,  珪素ナノワイヤ ,  *固相-固相変態

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 反応性イオンエッチング ,  珪素 ,  銀ナノ粒子 ,  固相 ,  固相変態