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J-GLOBAL ID：201202246887374011   整理番号：12A0641127

砥粒存在下でのシリコンのブロモ化反応における速度論的研究

著者 (7件)： 友野和哲 (山口大 大学院) ,  岡村優樹 (山口大 大学院) ,  古屋博敏 (山口大 大学院) ,  宮本成司 (山口大 大学院) ,  隅本倫徳 (山口大 大学院) ,  小松隆一 (山口大 大学院) ,  中山雅晴 (山口大 大学院)
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 92nd  号： 2  ページ： 419  発行年： 2012年03月09日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコンウェハ製造過程において発生する廃シリコンには,シリコンの他に砥粒(SiC)が混入している。本研究では,金属グレードシリコン(MG-Si)と臭化水素の反応によりブロモシランを合成する際に,SiCがブロモ化反応に及ぼす影響を調査した。連続流通反応系を用い,SiC共存下/非共存下において速度論的解析を行った。速度論的解析よりSiC共存系はブロモ化反応に影響を与えないことが分かった。(著者抄録)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  臭化水素 ,  *臭素化 ,  廃物利用 ,  *炭化ケイ素 ,  *砥粒 ,  *臭化ケイ素 ,  化学合成 ,  Arrheniusの式 ,  活性化エネルギー ,  *反応速度

分類 (2件)： その他の無触媒反応  (CB06070U) ,  塩  (CD01050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 砥粒 ,  シリコン ,  ブロモ化 ,  速度論 ,  研究