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J-GLOBAL ID:201202248919718381   整理番号:12A0960538

新しいエアロゾル支援化学蒸着法による太陽電池用アモルファスカーボン

Amorphous Carbon Deposited by a Novel Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition for Photovoltaic Solar Cells
著者 (3件):
資料名:
巻: 51  号: 6,Issue 2  ページ: 06FD05.1-06FD05.7  発行年: 2012年06月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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自作した新しいエアロゾル支援化学蒸着(AACVD)法および前駆体としてショウノウを用いて,アモルファスカーボン(a-C)太陽電池を作製した。Au/p-C/n-Si/Auデバイスはa-Cの堆積時間が0.5hの場合,効率が0.008%,曲線因子は0.15であった。a-C薄膜の電流-電圧(I-V)特性は直線的(オーミック)であったが,p-nデバイス構造では整流曲線が得られた。この整流曲線はp-C膜とn-Si基板のヘテロ接合を意味しており,光照射による電子-ホール対の生成を示している。a-Cの光応答特性は照射(AM1.5照射:100mW/cm2,25°C)によって強調された。透過スペクトルは波長390~790nmの可視領域で,大きな透過係数(>85%)と103~104cm-1の吸収係数を示した。AACVDでは前駆体溶液が霧吹き作用によってサブミクロンサイズのエアロゾル液滴となり,a-C膜の滑らかな表面をもたららした。我々の知る限り,AACVD法を用いたa-C太陽電池の作製はこれが初めてである。(翻訳著者抄録)
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半導体薄膜  ,  太陽電池 
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