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J-GLOBAL ID：201202249160502750   整理番号：12A1562858

大面積画像アプリケーションのための低誘電率膜の合成と特性付け

Synthesis and characterization of low-k films for large area imaging applications

著者 (4件)： JEYAKUMAR R. (Univ. Waterloo, ON, CAN) ,  GU Z. (Univ. Waterloo, ON, CAN) ,  SIVOTHTHAMAN S. (Univ. Waterloo, ON, CAN) ,  NATHAN A. (Univ. Waterloo, ON, CAN)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 99  ページ： 58-61  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大面積 ,  アプリケーション ,  低誘電率膜 ,  特性付け