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J-GLOBAL ID：201202250539379759   整理番号：12A0341056

マイクロ波駆動マイクロ放電中のプラズマ共鳴

Plasma resonances in a microwave-driven microdischarge

著者 (3件)： XUE J. (Agilent Labs, Agilent Technologies, 5301 Stevens Creek Blvd., Santa Clara, California 95051, USA) ,  URDAHL R. S. (Agilent Labs, Agilent Technologies, 5301 Stevens Creek Blvd., Santa Clara, California 95051, USA) ,  COOLEY J. E. (Agilent Labs, Agilent Technologies, 5301 Stevens Creek Blvd., Santa Clara, California 95051, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 100  号： 6  ページ： 064102  発行年： 2012年02月06日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,2.5GHzで動作する容量結合,低圧クリプトンマイクロ放電中の共鳴を研究した。約1mmの長さを持つ装置の回路モデルは電子密度の範囲についてインピーダンス値を計算する。モデル結果は,電子密度が約8×10¹¹cm^-3と5×10¹²cm^-3である時に駆動周波数においていくつかの「並列」と「直列」共鳴を予測した。直列共鳴は,抵抗が高周波信号源の出力インピーダンスに近づく時に起こり,反射電力を最小化する。これらの共鳴は,実験観察した入力電力の増加による強度のジャンプを説明する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： マイクロ波 ,  *気体放電 ,  *プラズマ共鳴 ,  高周波放電 ,  低圧 ,  クリプトン ,  長さ ,  回路モデル ,  電子密度 ,  インピーダンス ,  周波数 ,  並列接続 ,  直列接続 ,  反射
準シソーラス用語： *マイクロ放電 ,  信号源 ,  電力依存性 ,  容量結合放電

分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロ波 ,  マイクロ放電 ,  プラズマ共鳴