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J-GLOBAL ID：201202255033031993   整理番号：12A0654916

SPMのフロンティア~多様な材料系の研究ニーズに対応するSPM物性計測の最先端~ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発

著者 (1件)： 富取正彦 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 47  号： 1  ページ： 3-7  発行年： 2012年03月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,市販の超高分解能インレンズ方式陰極型電界放射走査型電子顕微鏡(SEM)に組み込めるペンシル型小型走査型プローブ顕微鏡(SPM)の開発,および観察・操作事例を紹介した。ヒータに融着したGe粒子を1400°Cで融かしたまま,Pt-Ir短針の先端にこのGe粒子に接触させ,また引き離すという操作を繰り返すと,短針先端に固化したGe片が付着した。次に,SEM像を観察しながら,このGe片を高温のWフィラメントヒータ表面にゆっくり接触させ,両者間にGe架橋を形成させた。Geはよく濡れ,架橋の中央部は溶融していた。両者を引き離していくと,短針側でGeが固化・結晶化した。架橋部が破断するまで引き離すと,先端部にGe突起が形成された。走査型オージェ分光顕微鏡で分析した所,Ptが偏析していることがわかった。本手法は本質的にマイクロスケールで単結晶を引き上げ成長させる手法といえる。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  ゲルマニウム ,  白金 ,  イリジウム ,  結晶化 ,  Auger分光法
準シソーラス用語： SEM【顕微鏡】 ,  陰極型電界放射走査型電子顕微鏡

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (13件)：

• 1)Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, Ch. and Weibel, E.: Phys. Rev. Lett., 49, 57-61 (1982)
• 2)Chen, C.J.: Introduction to Scanning Tunneling Microscopy, 2^nd, Oxford Univ. Press, New York (2008)
• 3)Wiesendanger, R.: Scanning Probe Microscopy and Spectroscopy: Methods and Applications, Cambridge Univ. Press, Cambridge (1994)
• 4)Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, Ch. and Weibel, E.: Phys. Rev. Lett., 50, 120-123 (1983)
• 5)McCord, M.A. and Pease, R.F.W.: J. Vac. Sci. Technol. B, 4, 86-88 (1986)

タイトルに関連する用語 (9件)： SPM ,  研究 ,  ニーズ ,  物性 ,  計測 ,  最先端 ,  ペンシル ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  開発