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J-GLOBAL ID：201202261769177251   整理番号：12A1371176

サブミクロン亜鉛粒子の分散を使用した酸化亜鉛膜の形成

Formation of zinc oxide films using submicron zinc particle dispersions

著者 (9件)： RAJACHIDAMBARAM Meena S. (School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331) ,  VARGA Tamas (Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354) ,  KOVARIK Libor (Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354) ,  SANGHAVI Rahul (Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354) ,  SHUTTHANANDAN Vaithiyalingam (Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354) ,  THEVUTHASAN Suntharampillai (Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354) ,  HAN Seung-yeol (School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331) ,  CHANG Chih-hung (School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331) ,  HERMAN Gregory S. (School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30  号： 4  ページ： 041805-041805-7  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ構造ZnO膜を作るための方法としてサブミクロン金属Zn粒子の熱酸化を調べた。このために使用した粒子を電子顕微鏡,X線回折(XRD),及び熱分析を使用してZn-ZnOのコア-シェル構造,表面モルフォロジー,及び酸化の特徴を評価した。相当なナノ構造変化が400°Cまたはそれ以上の温度でアニールした膜で観測された。金属ZnコアとZnOシェルの間の熱膨張の違いのためにZnO外側シェルの応力誘起破砕の結果として形成されたナノフレーク,ナノリボン,及びナノロッドが観測された。質量輸送が金属Znの高蒸気圧ために230°C以上の温度でこれらの欠陥を通して起こった。そこではZn蒸気は急速に空気中で酸化してZnOナノ構造を形成した。またZn粒子を酸化亜鉛インジウム前駆体溶液に入れ,膜トランジスタ試験構造を作製し,簡単な溶液プロセスを使用したナノ構造電界効果センサ作製の可能性を評価した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 微粒子 ,  *亜鉛 ,  *熱酸化 ,  *酸化亜鉛 ,  構造 ,  形態 ,  表面構造 ,  *ナノ構造 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  コアシェル構造
準シソーラス用語： サブミクロン粒子 ,  表面モルフォロジー

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U)

タイトルに関連する用語 (3件)： サブ ,  亜鉛 ,  酸化亜鉛