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J-GLOBAL ID：201202263084634300   整理番号：12A1347940

SIMS分析用の新たな不感時間補正法と従来モデルの比較

Comparison of a new dead-time correction method and conventional models for SIMS analysis

著者 (4件)： TAKANO Akio (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  TAKENAKA Hisataka (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  ICHIMARU Satoshi (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  NONAKA Hidehiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 44  号： 9  ページ： 1287-1293  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二次イオン質量分析(SIMS)は,SIMSに利用される検出器がパルス計数システムであるために,大きな計数領域で検出器が飽和になるという欠点を持つ。本研究では,X線検出用に開発された新たな拡張不感時間(ED)モデルがSIMSの飽和強度の補正に適用できるかを従来の非拡張不感時間(NED)モデルと比べながら評価し,SIMS分析に適用した。その結果,試験試料としてのBとAsSiの場合での飽和強度の補正に,従来のモデルよりもEDモデルが有効であった。¹¹Bの拡張最適パラメーターのρは,¹⁰³(AsSi)のそれと異なった。

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  *補正 ,  *不感時間 ,  検出器 ,  飽和

分類 (2件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (4件)： SIMS分析 ,  不感時間 ,  補正法 ,  モデル