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J-GLOBAL ID：201202263531501592   整理番号：12A0848374

中空陰極強化容量結合型高周波放電のparticle-in-cellシミュレーション

Particle-in-cell simulations of hollow cathode enhanced capacitively coupled radio frequency discharges

著者 (2件)： LAFLEUR T. (Space Plasma, Power and Propulsion Group, Res. School of Physics and Engineering, The Australian National Univ. ...) ,  BOSWELL R. W. (Space Plasma, Power and Propulsion Group, Res. School of Physics and Engineering, The Australian National Univ. ...)
資料名： Physics of Plasmas  (Physics of Plasmas)
巻： 19  号： 2  ページ： 023508  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： T0641B  ISSN： 1070-664X  CODEN： PHPAEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： 中空陰極 ,  強化 ,  容量結合 ,  高周波放電 ,  シミュレーション