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J-GLOBAL ID：201202264139755817   整理番号：12A1154310

DLC膜の応用展開と国際標準化の最前線 DLCの分類について

著者 (3件)： 大竹尚登 (東京工大) ,  平塚傑工 (ナノテック) ,  齋藤秀俊 (長岡技科大)
資料名： 工業材料  (Engineering Materials)
巻： 60  号： 9  ページ： 18-24  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： F0172A  ISSN： 0452-2834  CODEN： KZAIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 日本におけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)の分類および標準化の取り組みは2006年度に始まった。国内外の75種類を越えるDLC膜の物性が詳細に測定され,分類を可能とした。密度,水素量,sp³/(sp²+sp³)結合比(sp³比),膜組成,静的水接触角,屈折率および消衰係数など,これまだに分析・測定された項目と測定結果の概要を述べた。ノンドープDLCとは,DLC膜を構成する原子が基本的に炭素のみであるか,あるいは炭素と水素のみによって構成された元定義する。三元状態図上でのDLC,合成法の観点からDLCを分類した図,アモルファス炭素膜の分類とDLCの定義,ノンドープDLC膜の分類図を示し,ノンドープDLCの分類について述べた。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  製膜 ,  *標準化 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  被覆 ,  分類 ,  化学合成 ,  蒸着 ,  状態図 ,  炭素材 ,  ISO規格 ,  JIS【規格】
準シソーラス用語： *国際標準化 ,  非晶質炭素

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： DLC膜 ,  応用 ,  展開 ,  標準化 ,  DLC ,  分類