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J-GLOBAL ID：201202264278533543   整理番号：12A1650164

ユタ電極アレイの脱絶縁のためのパリレンCのレーザと反応性イオンエッチングを使ったハイブリッドエッチング

Hybrid laser and reactive ion etching of Parylene-C for deinsulation of a Utah electrode array

著者 (6件)： YOO Je-Min (Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR) ,  YOO Je-Min (Univ. Utah, UT, USA) ,  SONG Jong-In (Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR) ,  TATHIREDDY Prashant (Univ. Utah, UT, USA) ,  SOLZBACHER Florian (Univ. Utah, UT, USA) ,  RIETH Loren W (Univ. Utah, UT, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 10  ページ： 105036,1-8  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 脳内の神経活動電位や,あるいは局部電界電位を記録するため,神経界面電極が埋め込まれる。ユタ電極アレイのようなシリコン系埋込み電極はパリレンCのような生体適合性材料でコートされている。しかし,活性電極部表面は絶縁膜を除く必要がある。本稿では,レーザ(KrF)アブレーションを使ったプラズマエッチングと酸素反応性イオンエッチングのハイブリッド方式による脱絶縁法について報告した。SEM,XPSおよびインピーダンス測定によりこの方法の有効性を検証した。

シソーラス用語： 神経生理 ,  活動電位 ,  脳 ,  ポリキシリレン ,  塩素化重合体 ,  埋込み【挿入】 ,  生体適合性 ,  *アブレーション ,  *RIE【エッチング】 ,  ハイブリッド方式 ,  走査電子顕微鏡 ,  X線光電子分光法 ,  電気測定 ,  インピーダンス ,  *生体用電極
準シソーラス用語： SEM【顕微鏡】 ,  XPS ,  インピーダンス測定 ,  パリレンC ,  反応性イオンエッチング

分類 (2件)： 神経系一般  (EJ12010J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ユタ ,  電極アレイ ,  絶縁 ,  パリレンC ,  レーザ ,  反応性イオンエッチング ,  エッチング