サブミクロン容量性ギャップによる表面微細加工ポリシリコン膜の金属化導入腐食およびパリレン保護

文献

J-GLOBAL ID：201202264764848912 整理番号：12A1524977

Metallization introduced corrosion and parylene protection of surface micromachined polysilicon film with submicron capacitive gap

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資料名：
巻： 97 ページ： 20-25 発行年： 2012年09月
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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