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J-GLOBAL ID：201202266939778486   整理番号：12A0597909

超音波振動を利用した非接触ハンドリング装置によるフラットパネル基板の搬送(第5報)-基板上面をオープンスペース化したガラス基板の搬送-

著者 (2件)： 曲山雄貴 (長岡技科大 大学院) ,  磯部浩已 (長岡技科大 工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.O22  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等のガラス基板の大型化が進んでいる。基板厚さは薄く,一方面積は拡大するため破損しやすくなっている。また,製造プロセスにおいて高度な清浄度管理が必要である。本研究ではこれまで超音波振動を基板上面から用いた非接触ハンドリング機構を提案してきた。本報ではたわみ進行波を励起した振動板を基板下面に配置し上面をオープンスペース化する機構を提案し,その搬送特性を検討する。(著者抄録)

シソーラス用語： 超音波振動 ,  *操作 ,  パネル ,  *運搬 ,  *電気装置部品
準シソーラス用語： 非接触 ,  *非接触ハンドリング ,  フラットパネル ,  *搬送 ,  *ガラス基板 ,  オープンスペース化

分類 (2件)： 荷役・運搬機械,倉庫一般  (QE01010U) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超音波振動 ,  非接触 ,  ハンドリング装置 ,  フラットパネル ,  オープンスペース化 ,  ガラス基板