ダイオードレーザー吸収分光法により測定したマルチマイクロホローカソードランプにおけるラインプロファイルとPb原子の並進温度

INOUE Mari; OHTA Takayuki; TAKOTA Naoki; TSUCHITANI Shigeki; ITO Masafumi; TAKASHIMA Seigo; KANO Hiroyuki; YAMAKAWA Koji; TAKEDA Keigo; HORI Masaru

文献

J-GLOBAL ID：201202268659502968 整理番号：12A1287291

ダイオードレーザー吸収分光法により測定したマルチマイクロホローカソードランプにおけるラインプロファイルとPb原子の並進温度

Line-Profiles and Translational Temperatures of Pb Atoms in Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Diode Laser Absorption Spectroscopy

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資料名：
巻： 51 号： 8,Issue 1 ページ： 086301.1-086301.5 発行年： 2012年08月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

マルチマイクロホローカソードランプ(multi-MHCL)中のPbおよび準安定He原子の挙動が,kPaのオーダーの圧力下,ダイオードレーザ吸収分光法により研究されてきた。吸収線プロファイルの圧力による広がり効果はドップラープロファイルに重なっており,5から10kPaの範囲において準安定He原子のラインプロファイルから0.26MHzの/PAであると推定された。準安定He原子の並進温度は,5から10キロパスカルまでの圧力の増加に伴って830から410Kまで低下した。Pb原子のラインプロファイルから,マルチMHCLにおけるPbの温度と密度は,He圧力が4.9から7.4kPaまで増加するに伴い820から610K,及び9.0×10¹¹から4.6×10¹¹cm^-3に減少した。ローレンツ拡がりはHe原子のものよりも大きく,圧力依存性は0.22MHz/Paと推定された。発光強度の振る舞いはスパッタリングの増加のために原子密度のものと一致した。これらの結果から,ラインプロファイルの保証されたマルチMHCLが,多金属原子密度を正確に測定するために実現された。(翻訳著者抄録)

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プラズマ診断 , 薄膜成長技術・装置

引用文献 (30件)：

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