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J-GLOBAL ID：201202271477911340   整理番号：12A0809095

電気化学的に剥離したはんだ接合における金属間化合物(IMC)のSEMによる研究

Investigation of intermetallic compounds (IMCs) in electrochemically stripped solder joints with SEM

著者 (4件)： HURTONY Tamas (Dep. of Electronics Technol., Budapest Univ. of Technol. and Economics, Goldmann square 3, Budapest H-1111, HUN) ,  BONYAR Attila (Dep. of Electronics Technol., Budapest Univ. of Technol. and Economics, Goldmann square 3, Budapest H-1111, HUN) ,  GORDON Peter (Dep. of Electronics Technol., Budapest Univ. of Technol. and Economics, Goldmann square 3, Budapest H-1111, HUN) ,  HARSANYI Gabor (Dep. of Electronics Technol., Budapest Univ. of Technol. and Economics, Goldmann square 3, Budapest H-1111, HUN)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 52  号： 6  ページ： 1138-1142  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本文では,二つの異なるはんだ付け方法(気相はんだ付けおよびCO₂レーザによる選択レーザはんだ付け)で作製した電気化学的剥離はんだ接合における金属間化合物(IMC)の微細構造を比較する。電流測定を用いてSn相を選択的に除去した後,以前に公開された他の方法と異なる方法でIMCの微細構造および構造組成を明らかにできる。技術的に異なるはんだ接合の微細構造間の違いを光学顕微鏡法および走査電子顕微鏡法(SEM)で解析した。エネルギー分散分光法(EDS)測定を用いて異なる金属間相(Ag₃Sn,Cu₆Sn₅)を確認した。異なる方法で作製したはんだ接合のIMC構造はかなり違っていることを観測した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *剥離 ,  *はんだ付 ,  *金属間化合物 ,  *走査電子顕微鏡 ,  *微細構造 ,  電流測定 ,  スズ ,  ペースト ,  *光学顕微鏡法 ,  *エネルギー分散X線分光分析 ,  スズ化合物 ,  銀化合物 ,  銅化合物
準シソーラス用語： 電気化学的剥離 ,  気相はんだ付 ,  レーザはんだ付

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  接続部品  (NA05050Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気化学 ,  はんだ接合 ,  金属間化合物 ,  SEM ,  研究