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J-GLOBAL ID：201202271493712536   整理番号：12A1673492

nm厚さ潤滑膜のリアルタイム観測用の垂直対物ベースエリプソメトリー顕微鏡

Vertical-Objective-Based Ellipsometric Microscope for Real-Time Observation of nm-Thick Lubricant Films

著者 (5件)： QINGQING Liu (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.) ,  FUKUZAWA Kenji (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.) ,  KAJIHARA Yosuke (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.) ,  ZHANG Hedong (Dep. of Complex Systems Sci., Nagoya Univ.) ,  ITOH Shintaro (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.)
資料名： Tribology Online (Web)  (Tribology Online (Web))
巻： 7  号： 3  ページ： 139-146 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： U0046A  ISSN： 1881-2198  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直対物ベースエリプソメトリー顕微鏡(VEM)は,薄い液体潤滑剤,特にハードディスクドライブ(HDD)用の潤滑剤を用いる潤滑現象を解明する有用な手法として期待されている。薄い潤滑膜でのVEMの実現可能性は確認されているにもかかわらず,光学システムと画像検出の設計は確立されていない。本報では,コヒーレントノイズの制御法に加えて,VEMの光学設計について示し,また厚さ解像度改良の検討をした。著者らの手法により,VEMの厚さ解像度は0.4nmに改良でき,サブnm厚さの薄い液体潤滑膜のリアルタイム観測についても達成できることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  *潤滑膜 ,  *エリプソメータ ,  *実時間処理 ,  駆動機構 ,  *磁気ディスク ,  潤滑剤 ,  分解能 ,  光学顕微鏡 ,  ナノ構造 ,  *油膜厚さ ,  光学設計 ,  厚み測定 ,  対物レンズ
準シソーラス用語： *ハードディスクドライブ

分類 (3件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  記憶装置  (JC04060F)

引用文献 (8件)：

• [1] Azzam, R. M. A. and Bashara, N. M., “Ellipsometry and Polarized Light,” North-Holland, Amsterdam, 1987, 153-332.
• [2] Meeks, S. W., Weresin, W. E. and Rosen, H. J., “Optical Surface Analysis of the Head-Disk-Interface of Thin Film Disks,” ASME J. Tribol., 117, 1995, 112-118.
• [3] Linke, F. and Merkel, R., “Quantitative Ellipsometric Microscopy at the Silicon-Air Interface,” Rev. Sci. Instrum., 76, 6, 2005, 3701-1-3701-10.
• [4] Fukuzawa, K., Yoshida, T., Itoh, S. and Zhang, H., “Motion Picture Imaging of a Nanometer-Thick Liquid Film Dewetting by Ellipsometric Microscopy with a Sub-μm Lateral Resolution,” Langmuir, 24, 20, 2008, 11645-11650.
• [5] Qingqing, L., Fukuzawa, K., Kajihara, Y., Zhang, H. and Itoh, S., “Development of Ellipsometric Microscope for High-Resolution Observation of Nanometer-Thick Lubricant Films,” Tribology Online, 6, 6, 2011, 251-256.

タイトルに関連する用語 (7件)： 厚さ ,  潤滑膜 ,  リアルタイム ,  観測 ,  垂直 ,  エリプソメトリー ,  顕微鏡