抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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サブ波長グレーティング(SWG)から成る無反射(AR)構造を付加した積層型偏光子を有限差分時間領域法により解析する。はじめに,AR構造の基本特性を明らかにする。フィルファクター(一周期の長さに対するグレーティングの占める割合)を適切に選択することで,広帯域に90%以上の高い透過率が得られることを明示する。また,高次回折が生じる場合についても検討し,透過特性に与える影響を定量的に表示する。次に,応用例として積層型偏光子を取り上げ,波長特性を評価する。透過特性の改善のためには2層のAR構造を付加する必要があるが,要求される屈折率は非常に小さいため,適切な材料が見当たらない。他方,SWGを利用したAR構造ならば,等価的に任意の屈折率を実現できる。結果として,波長1.0~2.0μmの広帯域において99%以上の高透過特性を達成することを明示する。(著者抄録)