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J-GLOBAL ID：201202272845333200   整理番号：12A1371181

極端紫外線照射下のAu表面の炭素汚染及び酸化 X線光電子分光研究

Carbon contamination and oxidation of Au surfaces under extreme ultraviolet radiation: An x-ray photoelectron spectroscopy study

著者 (4件)： AL-AJLONY Al-montaser Bellah (Center for Materials Under Extreme Environment, School of Nuclear Engineering, Purdue Univ., West Lafayette, Indiana ...) ,  KANJILAL Aloke (Center for Materials Under Extreme Environment, School of Nuclear Engineering, Purdue Univ., West Lafayette, Indiana ...) ,  HARILAL Sivanandan S. (Center for Materials Under Extreme Environment, School of Nuclear Engineering, Purdue Univ., West Lafayette, Indiana ...) ,  HASSANEIN Ahmed (Center for Materials Under Extreme Environment, School of Nuclear Engineering, Purdue Univ., West Lafayette, Indiana ...)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30  号： 4  ページ： 041603-041603-6  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極端紫外線(EUV)照射に誘起されたAu表面の炭素汚染及び酸化をX線光電子分光法(XPS)を使用して調べた。Au試料を13.5nmのEUV放射により9時間照射し,EUV露出の間の化学修飾をモニタするために一連のXPSスペクトルを記録した。XPS分析の結果,表面における総炭素汚染(C1sピーク)は9時間のEUV露出後約14%だけ増加し,C-H成分が初めの60分間のEUV照射で主要な役割を演じることが分かった;対応するC1sピーク強度は鋭い立ち上がりを見せ,次いでC-C結合のゆっくりとした直線的な強度増加を示した。後者はAu表面における残留炭化水素のEUVアシスト分解による炭素の蓄積を示している。Auの酸化状態がEUV照射の間に形成され,最大に達する前は連続的に増加し,続いて漸次減少していくことが分かった。EUV放射があるところでの水分解の役割を検討し,Auの酸化現象と関係づけた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *極端紫外線 ,  紫外線照射 ,  *金 ,  表面 ,  炭素 ,  *汚染 ,  光酸化 ,  *X線光電子スペクトル ,  内殻準位 ,  水 ,  分解反応 ,  時間発展 ,  *超高真空 ,  残留ガス ,  フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： 極端紫外線リソグラフィー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 極端紫外線 ,  Au ,  炭素汚染 ,  酸化 ,  X線光電子分光 ,  研究