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J-GLOBAL ID：201202275675328079   整理番号：12A1371177

透過型走査電子顕微鏡の超低角環状暗視野イメージング マイクロ及びナノ評価のための多用途ツール

Very low angle annular dark field imaging in the scanning transmission electron microscope: A versatile tool for micro- and nano-characterization

著者 (1件)： BAUMANN Frieder H. (IBM Microelectronics Div., 2070 Route 52 Hopewell Junction, New York 12533)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30  号： 4  ページ： 041804-041804-6  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透過型走査電子顕微鏡(STEM)の超低角環状暗視野(VLAADF)イメージングをどのように使用して同一材料の異なる方向あるいは相構造の領域を描写するかを示した。先ず,極めて小さい指数のビームのみがイメージ形成に寄与するような像を得るために使用したセッティングを記した。これらのセッティングは適切なカメラ長及び対物絞りを選ぶことにより市販のいかなるSTEM/TEMにも簡単に使用できる。次に,VLAADFをどのように使用してCu相互配線の詳細な結晶粒サイズの研究を行うかを記し,どのようにこの技術を使って相変化記憶デバイスの結晶マトリックス中のアモルファス領域を描写するかを示した。最後に,「方向コントラスト」の主なイメージングパラメータへの依存性に触れ,議論した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,  撮像 ,  電子顕微鏡観察 ,  銅 ,  相互接続 ,  不揮発性メモリ ,  結晶粒度 ,  PRAM【メモリ】
準シソーラス用語： *超低角環状暗視野透過型走査電子顕微鏡 ,  相変化メモリ

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 透過型走査電子顕微鏡 ,  環状 ,  暗視野 ,  イメージング ,  評価 ,  用途 ,  ツール