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J-GLOBAL ID：201202275757143085   整理番号：12A0543322

Si片持ち梁の貼り付き現象に与える最終処理の影響

Influence of Final treatment on the Sticking figure of Silicon Cantilever-beam

著者 (2件)： 加藤一郎 (宇宙航空研究開発機構) ,  加藤真耶 (宇宙航空研究開発機構)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 111  号： 438(R2011 42-51)  ページ： 19-23  発行年： 2012年02月10日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSデバイスの開発は近年飛躍的に進み,宇宙適用に大きな期待が寄せられている。我々は特に期待されているMEMS-RFスイッチの信頼性を検証するため,スティクションのメカニズム解析を行った。片持ち梁部分の幅・長さ・厚さや,プロセスの最終工程である乾燥方法を変化させた結果,スティクション形状が梁幅によって異なるということが明らかとなった。またIPAと水では梁下における液体蒸発の進行が異なることも観察された。さらに梁の先端が下向きになるようTEGチップを垂直に立てて,水平乾燥の場合と比較することで貼り付き現象の知見を得た。プロセス終了後のMEMS貼り付きを制御するためには,寸法やTEG間隔に応じた乾燥手法の見極めが重要である。(著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  ケイ素 ,  片持梁 ,  スイッチ ,  *接点現象 ,  電気接点 ,  乾燥 ,  生産プロセス

分類 (1件)： 電気接点  (NA05070V)

引用文献 (8件)：

• マイクロナノ/2009 MEMS協議会 (MIF) フォーラム資料. 2009年7月31日, 第20回マイクロマシン/MEMS展, 幕張, 2009. 2009, 68
• MA, Qing. Metal contact reliability of RF MEMS switches. Proc. SPIE, Tuesday 23 January 2007, San Jose, CA, USA. 2007, 6463
• 上田知史. 無線通信用RF-MEMSデバイス. FUJITSU. 2005, 56, 4, 333-339
• 三田信. MEMSの宇宙応用への可能性. 信学技法. SPS2007-08, 31-34
• 渡辺克忠. 低抵抗率銅系複合材料接点の静止特性. 信学技法. 1990, EMC90-35, 11-16

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  片持ち梁 ,  貼り付き ,  現象