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J-GLOBAL ID：201202275987900705   整理番号：12A0531954

MEMS-VCSELの巨大な波長-温度依存性と電気-熱のチューニング

Giant Wavelength-temperature Dependence and Electro-thermal Tuning of MEMS VCSEL

著者 (5件)： NAKAHAMA Masanori (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  NAKATA Norihiko (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  SANO Hayato (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  MATSUTANI Akihiro (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KOYAMA Fumio (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Annual Meeting of the IEEE Photonics Society  (Annual Meeting of the IEEE Photonics Society)
巻： 2011  ページ： 913-914  発行年： 2011年 
JST資料番号： T0931A  ISSN： 1092-8081  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者は,熱駆動型SiO₂/AlGaAsカンチレバー構造を用いて,微小電気機械系(MEMS) 垂直共振器面発光レーザ(VCSEL)の波長の巨大な温度依存性を実証した。著者は,熱駆動型ミラーを用いた電気-熱のチューニングを紹介する。カンチレバー長は60μmから120μmの範囲であった。微小機械を用いてVCSELを作製した。4.7nmのチューニング幅が29mWの火力で得られた。バイアス電流が11mAにおいて,しきい電流は4mAで,最大の出力電力は1.4mWであった。

シソーラス用語： *垂直共振器形面発光レーザ ,  *MEMS ,  温度依存性 ,  鏡 ,  片持梁 ,  電流 ,  *可変波長レーザ ,  ヒ化ガリウムアルミニウム ,  化合物半導体 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： バイアス電流 ,  熱駆動型ミラー ,  閾電流

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  VCSEL ,  波長 ,  温度依存性 ,  チューニング