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J-GLOBAL ID：201202281455766407   整理番号：12A1771559

電子ビーム励起プラズマにより蒸着した導電性Mgドープ非晶質炭素膜の低摩擦特性

Low friction properties of conductive Mg-doped amorphous carbon films deposited in electron beam excited plasma

著者 (2件)： VAEZ-TAGHAVI Hamed (Tokyo Inst. of Technol.) ,  HIRATA Atsushi (Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 26th  ページ： 184-185  発行年： 2012年11月16日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 電子ビーム ,  プラズマCVD ,  非晶質 ,  *炭素材 ,  蒸着膜 ,  導電性 ,  *摩擦係数 ,  マグネシウム ,  *ドーピング ,  フラーレンC60 ,  硬度 ,  トライボロジー

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ ,  蒸着 ,  導電性 ,  Mg ,  ドープ ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  摩擦特性