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J-GLOBAL ID:201202285052319422   整理番号:12A1440904

プローブ測定における二次電子放出の考察

Consideration of Secondary Electron Emission Effect for Probe Measurement
著者 (3件):
資料名:
巻: 51  号: 9,Issue 1  ページ: 096101.1-096101.5  発行年: 2012年09月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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プローブ測定において電子温度(Te≧20eV)を高くすると,電子衝撃に起因する二次電子放出効果が,ますます重要になる。二次電子放出係数を考慮して,プローブの特性を評価する方法を提示し,異なる二次電子放出係数を持つタングステンとモリブデン電極の2つのLangmuirプローブを用いて,その妥当性を実験的に調べた。(翻訳著者抄録)
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