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J-GLOBAL ID：201202285864997378   整理番号：12A0543019

パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用a-SiCN隔膜の開発

Development of a-SiCN Diaphragm for Transmission Electron Microscope with Environmental Cell by Using Pulse Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

著者 (5件)： 松谷貴臣 (近畿大 理工) ,  山崎佳代 (近畿大 理工) ,  筒井秀徳 (近畿大 理工) ,  美浦拓也 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  川崎忠寛 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
巻： 19  号： 2  ページ： 159-164  発行年： 2011年12月 
JST資料番号： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ヘキサメチルジシラザンを原料としたパルスプラズマCVD法を開発し,環境セル透過型電子顕微鏡用a-SiCN隔膜を開発した。真空圧力を高くすることにより,残留酸素の影響を抑制して,良好なa-SiCN薄膜を得ることができた。SiCN隔膜は,200keVの電子線に対して,透明で安定で,その耐圧は0.1MPaであった。反応ガス雰囲気において,200keV電子線の照射に対して,通常のアモルファスカーボンは数秒で破損するのに対し,開発したa-SiCN隔膜は10分以上安定で,寿命が飛躍的に向上した。

シソーラス用語： *ケイ素化合物 ,  *炭化物 ,  *窒化物 ,  *非晶質 ,  *プラズマCVD ,  *透過型電子顕微鏡 ,  *隔膜 ,  電子ビーム ,  安定性 ,  耐圧性 ,  寿命 ,  誘電体薄膜 ,  電子照射 ,  照射損傷
準シソーラス用語： *炭窒化ケイ素

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (11件)：

• 1) M. Haruta, Catalysis by Gold Nanoparticles, Journal of the Surface Science Society of Japan, Vol. 26, No. 10, 2005, p578 (in Japanese).
• 2) M. Haruta, Size-and support-dependency in the catalysis of gold, Catalysis Today Vol 36 1997, p153.
• 3) K. Ueda, T. Kawasaki, H. Hasegawa, T. Tanji, and M. Ichihashi, First observation of dynamic shape changes of a gold nanoparticle catalyst under reaction gas environment by transmission electron microscopy, Surf Interface Anal., Vol. 40 2008 p1725.
• 4) H. Tsutsui, T. Matsutani, and T. Kawasaki, Formation of B-C-N-O Diaphragm for Environmental Cell Transmission Electron Microscope by Plasma Chemical Vapor Deposition, ADVANCES IN APPLIED PLASMA SCIENCE, Vol.7, 2009, p273.
• 5) H. Tsutsui, T. Matsutani, and T. Kawasaki, Development of B-C-N-O Diaphragm for Environmental Cell Transmission Electron Microscope by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, American Institute of Physics conference proceedings, Vol. 1282, 2010, p39.

タイトルに関連する用語 (8件)： パルスプラズマ ,  援用 ,  化学気相成長法 ,  環境 ,  セル ,  透過電子顕微鏡 ,  隔膜 ,  開発