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J-GLOBAL ID：201202286493051235   整理番号：12A0640002

犠牲層の表面構造制御によるフレキシブル自立ナノ薄膜の創製

著者 (4件)： 丸山智裕 (大阪大) ,  平方寛之 (大阪大 工) ,  米津明生 (大阪大 工) ,  箕島弘二 (大阪大 工)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 87th  ページ： 7.14  発行年： 2012年03月16日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 座屈による犠牲層の表面構造制御法を確立し,その手法を用いて変形能に優れた自立ナノ薄膜を創製した。溶剤乾燥型の樹脂犠牲層が表面から内部に向って徐々に硬化することに着目し,硬化過程中に二方向の圧縮ひずみを独立に制御して付与することで,表面に多様なリンクル構造が形成されることを明らかにした。引張試験を実施することにより,本自立リンクル銅薄膜は,構造に依存して破断ひずみ0.74%~13.7%の多様な変形能を示すことを明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  *超薄膜 ,  *表面構造 ,  *制御 ,  *層 ,  銅 ,  *ナノシート
準シソーラス用語： *ナノ薄膜 ,  *犠牲層

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 犠牲層 ,  構造制御 ,  自立 ,  ナノ薄膜 ,  創製