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J-GLOBAL ID：201202291635385342   整理番号：12A0610208

GaSb/InAs Type-II超格子赤外線センサの開発

著者 (11件)： 美藤邦彦 (立命館大 理工) ,  川崎聡史 (立命館大 理工) ,  木股雅章 (立命館大 理工) ,  室岡純平 (宇宙航空研究開発機構) ,  内藤聖貴 (宇宙航空研究開発機構) ,  片山晴善 (宇宙航空研究開発機構) ,  佐藤亮太 (宇宙航空研究開発機構) ,  PATRASHIN Mikhail (情報通信研究機構) ,  寳迫巌 (情報通信研究機構) ,  井須俊郎 (徳島大 大学院ソシオテクノサイエンス研究部) ,  北田貴弘 (徳島大 大学院ソシオテクノサイエンス研究部)
資料名： 映像情報メディア学会技術報告
巻： 36  号： 5(IST2012 1-5)  ページ： 13-18  発行年： 2012年01月31日 
JST資料番号： S0209A  ISSN： 1342-6893  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： GaSb/InAs Type-II超格子はHgCdTeに変わる量子型赤外線センサとして注目されている。われわれは静止軌道からの地球観測を目的とした人工衛星への搭載を目指し,カットオフ波長15μmのGaSb/InAs Type-II超格子赤外線センサを開発している。本論文では,研究開発の第一段階として行ったGaSb/InAs超格子のエピタキシャル成長技術開発とpin構造赤外線センサのプロセス技術開発に関し報告する。今回試作した赤外線センサはカットオフ波長が6μmとなるよう超格子構造を設計したもので,1.0×10^-4A/cm²以下の暗電流(逆方向バイアス<0.07V)と10%前後の量子効率が得られることを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *超格子 ,  *赤外検出器 ,  人工衛星 ,  波長 ,  遮断周波数 ,  アンチモン化ガリウム ,  ヒ化インジウム ,  *半導体プロセス ,  暗電流 ,  バイアス ,  量子効率
準シソーラス用語： *赤外線センサ ,  カットオフ波長 ,  カットオフ周波数 ,  GaSb ,  InAs

分類 (3件)： 結晶学一般  (BK05010Z) ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• REHM, Robert. InAs/(GaIn)Sb short-period superlattices for focal plane arrays. Proc. SPIE. 2005, 5783
• HADDADI, A. High Operability 1024×1024 Long Wavelength Infrared Focal Plane Array Base on Type-II InAs/GaSb Superlattice. AIP Conf. Proc. 2011, 1416, 56-58
• WALTHER, Martin. InAs/GaSb type-II short-period superlattices for advanced single and dual-color focal plane arrays. Proc. of SPIE. 2007, 6542
• 岡本紘. 超格子構造の光物性と応用. 1988
• BAJAJ, Jagmohan. Comparison of Type-II Superlattice and HgCdTe Infrared Detector Technologies. Proc of SPIE. 2007, 6542, 2

タイトルに関連する用語 (5件)： GaSb ,  InAs ,  超格子 ,  赤外線センサ ,  開発